Wenn man sich vorstellt, dass die Strukturbreite einer elektronischen Leiterbahn auf einem Mikrochip rd. 30 – 250 nm beträgt und im Vergleich dazu ein menschliches Haar 300-mal so dick ist, erhält man einen Eindruck davon, wie hoch die Anforderungen sind, die an die Reinraumtechnik und deren Filtersysteme gestellt werden.
Als Hochleistungsschwebstofffilter für die Abscheidung von Kleinstpartikeln in Reinraumanlagen kommen HEPA- und ULPA-Filter zum Einsatz. Sie gewährleisten eine besonders hohe Luftreinheit und sind in der Lage, selbst Keime und Partikel im Submikrometer-Bereich zurückzuhalten.
Filter, die Luftpartikel zurückhalten, erzeugen Luftwiderstände. Naturgemäß erhöht sich dadurch die Druckdifferenz, was zulasten der Energieeffizienz geht. Das Entscheidende dabei ist, die Höhe des Verlustes zu minimieren.
TROX hat deshalb Luftfilter entwickelt, die den zwangsläufigen Anstieg der Druckdifferenz mindern und dadurch den Anlagenwiderstand reduzieren.
So kann mit speziellen TROX Filtermedien, die sich durch eine äußerst exakte und filigrane Falttechnik auszeichnen, und dank strömungsoptimierter Gehäuse bis zu 50 % Energie gegenüber herkömmlichen Filtern eingespart werden.
Denny Kaulfuß
Vertriebsleiter Filtertechnik Deutschland
Telefon: +49 177 / 297 08 27
TROX produziert einen ausgasungsarmen Reinraumfilter mit zertifizierter Sicherheit für höchste qualitative Produktionssicherheit in Reinräumen, z.B. der Halbleiterindustrie.
Alle unsere Reinraumfilter werden gemäß Partikelzählverfahren nach EN 1822 klassifiziert. Für bestimmte spezifische Anwendungen, z.B. in der Halbleiterindustrie reicht es aber nicht, die Anzahl der Partikel zu kennen, sondern auch die Beschaffenheit der Partikel.
Das Fraunhofer Institut hat das Ausgasgungsverhalten des TROX Filters der Serie MFPCR nach ISO 14644-5 zertifiziert.
Fraunhofer TESTED DEVICE®: Qualifizierung des TROX MFPCR H14 Filters für den Einsatz in Reinräumen
Auf dem Filterscan-Prüfstand werden Filter der Filterklassen H13, H14, U15, U16 und U17 unter Reinraumbedingungen getestet.
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