Si vous considérez que la largeur structurelle d'un conducteur électronique sur une micropuce est d'environ 30 à 250 nanomètres - à titre de comparaison, un cheveu humain est environ 300 fois plus épais - Cela vous donne une idée du niveau d'exigence requis en matière de technologie de salle propre et de système de filtration.
Les filtres HEPA et ULPA sont utilisés en tant que filtres à particules à haute efficacité pour la séparation des plus petites particules dans les systèmes de salle propre. Ils garantissent un niveau de propreté de l'air particulièrement élevé et vont jusqu'à séparer les germes et les particules submicrométriques.
Les filtres sont censés séparer les particules dans l'air - et ils sont un obstacle au flux d'air. Lorsque la pression différentielle augmente, l'efficacité énergétique diminue. Le but est de minimiser la perte.
TROX a donc développé des filtres qui réduisent l'augmentation inévitable de la différence de pression et réduisent ainsi la résistance du système.
TROX propose des médias filtrants avec des plis extrêmement fins et des éléments de montage des filtres optimisés sur le plan aérodynamique qui permettent d'économiser jusqu'à 50 % d'énergie par rapport aux filtres conventionnels.
TROX produit un filtre pour salle propre à faible dégazage Avec une sécurité certifiée pour une fiabilité de production de la plus haute qualité dans les salles propres, comme par ex. dans l'industrie des semi-conducteurs.
Tous nos filtres pour salles propres sont classés selon la méthode de comptage de particules conformément à la norme EN 1822. Cependant, pour certaines applications spécifiques, par exemple dans l'industrie des semi-conducteurs, il ne suffit pas de connaître le nombre de particules, mais aussi leur composition.
L'Institut allemand Fraunhofer a certifié le comportement de dégazage du filtre TROX de type MFPCR selon la norme ISO 14644-5.
TESTED DEVICE ® firmy Fraunhofer: raport kontroli filtra TROX MFPCR H14
Les filtres HEPA et ULPA sont utilisés.comme filtres à particules à haute efficacité pour la séparation des particules en suspension dans les systèmes de salle propre,
On the new filter scan test rig, filters of filter classes H13, H14, U15, U16 and U17 are tested under clean room conditions.
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